Sensibilidad altamente elemental con preparación mínima de muestras
Mapeo elemental de rayos X de alta velocidad incluso en áreas grandes
Análisis de espesor de película
10 ppm
límite de detección
Habilitación del análisis de oligoelementos debido al fondo espectral inferior
4 mm/s
velocidad de viaje
El Rapid Stage opcional permite el mapeo de alta velocidad en grandes áreas
1 nm - 40 m
rango de espesor de capa
Se pueden analizar películas delgadas a partir de 1 nm hasta múltiples estructuras de capa de 40 m
Micro-XRF como técnica analítica de cortesía para el análisis de EDS en el SEM
El análisis de espectroscopia de fluorescencia de micro-rayos X (Micro- XRF) es una técnica analítica no destructiva complementaria al análisis tradicional de espectroscopia de dispersión de energía (EDS) mediante un microscopio electrónico de barrido (SEM). Estos análisis son importantes para la caracterización de la composición elemental dentro de muestras desconocidas que van desde especímenes inhomogenos de gran tamaño centímetro hasta pequeñas partículas micrómetros.
La excitación de rayos X produce una sensibilidad mucho mayor para la detección de oligoelementos (hasta 10 ppm para ciertos elementos), un rango espectral de rayos X extendido(hasta 40 keV),así como información de mayor profundidad dentro de la muestra.
Equipado con un tubo de rayos X en combinación con una óptica de rayos X microenfocada produce pequeños tamaños de punto de 30 m con un rendimiento de alta intensidad.
Una etapa modular a base de piezoeléctrico, especialmente diseñada para montarse en la parte superior de la etapa SEM existente, permite el mapeo elemental de rayos X de alta velocidad "sobre la marcha" sobre grandes áreas hasta una velocidad de 4 mm/seg. Esto permite la adquisición de datos de mapeo de rayos X sobre un tamaño de muestra de 50 x 50 mm (o superior), incorporando datos espectrales de elementos de luz, así como datos de oligoelementos y/o rayos X de mayor energía en un flujo de trabajo rápido y fácil de usar.
La mayor profundidad de excitación de rayos X permite la caracterización de sistemas multicapa a partir de 1 nm y que van hasta 40 m, loque no es posible con la excitación de electrones.
Amplíe sus capacidades analíticas SEM con Micro-XRF y Rapid Stage
Potencial de haz doble, tanto un haz electrónico como un haz de rayos X, que ofrece nuevas posibilidades para la caracterización del material - Investigue las muestras simultáneamente con ambas fuentes.
Utilizando el mismo detector para la adquisición simultánea de haz electrónico/micro-XRF, incorporando datos espectrales de elementos de luz, así como datos de oligoelementos y/o rayos X de mayor energía.
La cuantificación combinada de EDS y micro-XRF da como resultado una caracterización de la muestra más completa mediante la combinación de la mejor sensibilidad del elemento de luz de la excitación de electrones con la mejor sensibilidad del oligoelemento de XRF.
Mapeo simultáneo con excitación micro-XRF y haz electrónico, combinando las ventajas de ambos mundos. Emocionante los elementos de luz (carbono a sodio) utilizando el haz electrónico y elementos más pesados por micro-XRF.
Los picos separados y el rango espectral extendido permiten ver las líneas K de alta energía, ya que son menos complejas y menos superpuestas.
Preparación mínima de la muestra: no se requiere una superficie de muestra conductora ni un pulido extensivo